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Mask

什麼是光罩

光罩原材料是以石英玻璃為基板並塗佈鉻金屬作為遮光用途。 設計積體電路圖形是由電子束或雷射精準曝寫產生的,再經由顯影,蝕刻製程將光罩製作而成。
晶圓廠再透過微影製程技術,將光罩上之電路圖樣轉換至半導體晶圓上。 通常一片晶圓所需電路圖樣需要由15至30片以上光罩堆疊而成