PSM光罩(相位偏移光罩)

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Half tone phase shift

在圖樣線的交界處可以透過交界處兩邊有相位差180度,使的曝光在晶圓上所產生的繞射是破壞性干涉,因此,可以提高圖樣邊緣的解析度以及對比度。 相位偏移光罩產品主要應用在<0.18微米製程的CONTACT與FINE LINE光罩。 澳门365娱乐体育娱乐官方提供Half tone PSM